短脉宽激光器（任韧），研究了高气压短脉宽XeCl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试。在大体积高气压下，采用同步紫外预电离产生辉光放电方法，结合激光器物理设计、电路、光学系统设计，调整气体配比、气压、放电电压，在气体配比为HCl:Xe:He=0.1%:1%:98.9%下，实现了纳秒放电激励的紫外308 nm准分子激光激射，脉冲能量530 mJ,最小脉冲宽度13 ns,矩形光斑2 cm×1 cm,束散角3 mrad,最高重复频率5 Hz,并总结了实验规律。

任韧，短脉宽激光器

任韧，短脉宽XeCl激光器的实现

中国激光 任 韧

中国激光 2004年 31卷 9期 ( pp:1036-1040)

短脉宽XeCl激光器的实现及光脉冲参数的测量

Study on Short Pulse Width XeCl Laser

任韧 陈长乐 徐进 袁孝 金克新 王永仓 宋宙模 魏炳波

关键词: 激光技术 准分子激光 纳秒放电 预电离 辉光放电

Abstract:

A high pressure, short pulse duration XeCl laser was fabricated, and laser parameters were measured. Aiming at large volume and high gas pressure, the laser system adopted the ultraviolet preionization to produce glow discharge. The result was that the nano-second (ns) discharge pumped 308 nm excimer laser was realized in proportion of HCl:Xe:He=0.1%:1%:98.9% with the output pulse energy of 530 mJ and the minimal pulse duration of 13 ns. The rectangle facula is 2 cm×1 cm, the beam divergence is 3 mrad, and the maximal repetition frequency is 5 Hz.

Keywords: laser technique excimer laser nanosecond discharge preionization glow discharge

中图分类号: TN 248.2+2

所属栏目: 激光器件

基金项目: 国家自然科学基金(No.60171043)和陕西省自然科学基金(No.2001C21)资助项目。

收稿日期: 2003-7-31

修改稿日期: 2003-7-31

作者单位:查看

任韧:西安交通大学1理学院,3生物医学工程所, 陕西 西安 710049西北工业大学应用物理系,陕西 西安 710072

陈长乐:西北工业大学应用物理系,陕西 西安 710072

联系人作者:任韧

作者简介:任韧，（1960年）男,西安交通大学博士,教师，主要从事大功率激光技术、半导体激光、激光分子束外延、脉冲激光沉积和光电子技术研究。

引用该论文: 任韧,陈长乐,徐进,袁孝,金克新,王永仓,宋宙模,魏炳波. 短脉宽XeCl激光器的实现及光脉冲参数的测量[J]. 中国激光, 2004, 31(9): 1036～1040

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