用固态氧化物制成的对氧离子具有特殊活性，并可参与局部氧化反映的膜。目前已研发出来并投入应用的材料分别有氧化钇使之稳定的氧化镐基膜，用氧化钙稳定的氧化镐基膜和用氧化镁使之稳定的氧化镐基膜，它们已在氧泵和氧传感器中得到应用。