名称: 微米技术

主题词或关键词: 信息科学 集成电路

内容

集成电路的制造尺寸，必须以微米甚至纳米来计量。１微米是１毫米的千分之一。一根头发丝的直径约为７０～１００微米，细菌的大小约为１微米～２微米，烟尘的微粒直径还不到１微米，而病毒通常只有０.２５微米左右。但在微电子技术中，１微米可以容纳很多晶体管。在硅芯片上制成晶体管集成电路，要在极小的面积上施工制造，最关键的技术是使晶体管的线宽要微缩，这样才能使晶体管和集成电路之间紧密地编织到最小的空间里。在只有头发丝直径大小的硅片上，当线宽为１微米时，就可以容纳４００个晶体管；如线宽为０.５微米，晶体管可达１５００个；线宽减到０.２５微米，则晶体管可达４５００个以上。在如此微细的空间里进行电路安排和制作，只能在极高倍的隧道扫描显微镜下操作。７０年代初期，集成电路中晶体管的线宽为３微米～５微米；７０年代中期至８０年代中期，线宽缩小到１微米；８０年代中期以后，线宽缩小到１微米以下。随着线宽的不断缩小，集成电路的集成度和存贮信息量不断提高。线宽为１微米时，集成度可高达数万至百万级；当线宽小于１微米时，集成度可高达４兆～６４兆百万信息量。