超声能光整工艺是给工具沿工件表面法线方向，施加超声振动，在一定压力下，工具与工件表面震动接触，以一定的进给速度通过旋转着的工件表面，从而对工件表面进行机械冷作硬化，大大提高了加工表面的硬度和耐磨性，工件表面粗糙度值可达到0.1以下。

超声光整金属表面是一种微量冲击式的压力光整加工。他利用金属常温状态下的冷塑特点，采用专门的压光工具，对工件表层金属施加一定的压力，使其产生塑性流动，其结果是将工件表面原有的微观波峰熨平，使其填入波谷，从而使表面质量的到提高。

给压光工具施加适当的压力（静压力），使其压在工件上。超声压光后，工件回转（这里以压光外圆工艺为例），压光工具头除向工件压光表面进给之外，还由于超声振动的作用，高频冲击（每秒3万次高频）工件表面，这就使得超声压光具有传统压力与喷丸强化的综合效果。从而达到降低工件表面粗糙度，提高工件表面硬度耐腐蚀性和提高工件疲劳寿命的目的。