当光电效应引起内层电子发射，电子跃迁并辐射能量时，并不一定产生特征X射线，还可能产生俄歇效应，用ω表示。其定义为较高能级电子填充特定壳层空位，并发射X射线荧光的几率。若在q能级上单位时间内被激发的原子数为Nq而单位时间内发射X射线荧光的原子数为Nq,f ,则q能级的荧光产额ωq表示为：

ωq=(Nq,f)/Nq 若q壳层具有多个支壳层，或同一壳层空位可能被多个高能级电子填充而发射几种能量的X荧光，则Nq,f表示他们的总和。

考虑到X射线辐射的机制，辐射几率与原子序数Z的关系以及电子屏蔽效应，在芬克(W.R.Fink)提出的半经验公式中可以认识到，较低的原子序数Z的元素，荧光产额较低。这是由于轻元素核电荷数少，电子结合比较松弛，L、M层电子容易吸收原子本身电子跃迁产生的能量儿发射俄歇电子；同时，轻元素Lab与K系谱线能量较为接近，因而吸收K系谱线，发射俄歇电子的几率也比较高