| 词条 | 半导体制造与过程控制基础 |
| 释义 | 图书信息书 名: 半导体制造与过程控制基础 作 者：(美国)梅(GaryS May) 李虹 马俊婷 出版社： 机械工业出版社 出版时间： 2009年01月 ISBN: 9787111256656 开本： 16开 定价: 60.00 元 内容简介《半导体制造与过程控制基础》详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。《半导体制造与过程控制基础》讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题，包括（但不限于）制造、过程控制、试验设计、过程建模、产出建模和CIM（计算机集成制造）／CAM（计算机辅助制造）系统。《半导体制造与过程控制基础》包括对基本制造概念理论和实践的描述，以及一些案例分析、典型问题和建议的练习。 《半导体制造与过程控制基础》可作为相关专业研究生的教材，也可在半导体制造课程中使用。《半导体制造与过程控制基础》也可作为半导体工业中实践工程师和科研人员的参考书。 作者简介Gary S May博士，是乔治亚理工大学电子和计算工程学院的教授，他是IEEE会员和制造工程师协会的资深会员。在IC计算机辅助制造领域.他发表了150多篇文章，并作了100多场技术讲座。 图书目录译者序 原书前言 第1章 半导体制造引论 第2章 技术纵览 第3章 过程监控 第4章 统计基础 第5章 产出建模 第6章 统计过程控制 第8章 半导体制造的过程建模 第9章 半导体制造的高级过程控制 第10章 半导体制造的过程与设备的故障诊断 附录 …… |
| 随便看 |
百科全书收录4421916条中文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。