RF电源（Radio Frequency），用于等离子蚀刻的射频发生器，亦称射频电源。

在半导体制造行业中，在生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中，都要用到这种电源。是产生等离子体的配套电源,由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，是八十年末期在我国新兴的高科技领域，应用于射频溅射，PECVD 化学气相沉积，反应离子刻蚀等设备中。

目前，射频电源技术主要掌握在美、日、德等少数国家的少数厂家中，如美国的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日本的DAIHEN、德国的Huettinger等。