词条 | RF电源 |
释义 | RF电源(Radio Frequency),用于等离子蚀刻的射频发生器,亦称射频电源。 在半导体制造行业中,在生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中,都要用到这种电源。是产生等离子体的配套电源,由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。 目前,射频电源技术主要掌握在美、日、德等少数国家的少数厂家中,如美国的AE(Advanced Energy)、MKS(MKS Instruments)、日本的DAIHEN、德国的Huettinger等。 |
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