真空阴极电弧源沉积技术发展的概况

上世纪80年代推广真空阴极电弧镀TiN，很快席卷全球，90年代掀起了阴极电弧镀膜热，成为硬质保护膜生产主流技术，广泛应用在工具镀、装试镀和特殊功能镀膜领域。

真空阴极电弧沉积，俗称多弧镀。

优点：离化率高，离子流密度大，离子流能量高，沉积速率快，膜基结合力好，利用固体靶材，没有熔池，靶材可以任意位置安装以保证镀膜均匀，可以沉积金属膜、合金膜，也可以反应镀合成各种化合物膜（氮化物、碳化物、氧化物），甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，设备操作简单，技术易于推广。美中不足的是，在沉积时，从靶材表面飞溅出微细颗粒，在所镀膜层中冷凝使膜层粗糙度增加。

广泛用于涂镀刀具、模具的超硬保护层，膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TIC、TiCN、CrN、DLC等，镀层产品包括钻头、铣刀、齿轮刀具、丝锥、剪刀、切刀、顶头、冲模等。

装饰膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TIC、TiCN、CrN等等，镀膜产品包括表件、日用五金件、卫浴洁具、建筑五金件、表壳、表带、小饰品、不锈钢板等等，彩色膜除仿金色外，还有枪黑、乌黑、玫瑰金、棕色、蓝色、绿色、灰色、银色以及幻彩等等。

阴极电弧设备见右图（来自北京丹普表面技术有限公司）

1.真空系统 2.阴极电弧蒸发源 3.偏压系统 4.供气系统 5.节流阀系统

6.加热系统 7.测温系统 8.工件转架系统 9.冷却水系统 10.控制系统