| 词条 | 吴东平 |
| 释义 | 简介吴东平，男，1974年7月出生，微纳电子科技创新平台研究员，博士生导师，上海市东方学者特聘教授。分别于1996年6月和1999年6月毕业于复旦大学电子工程系，获学士和硕士学位。2004年6月毕业于瑞典皇家理工学院，获理学博士学位。2004-2006年在德国英飞凌公司技术研发部门工作，从事65纳米以下超大规模集成电路的器件和工艺的研发。2006-2009年在德国奇梦达公司存储器技术研发部门从事60到30纳米世代存储器的研发工作，任器件和工艺专家、器件研发负责人。2009年6月起任教于复旦大学。现任复旦大学微电子研究院微纳加工和器件实验室主任。兼任欧洲电子器件会议技术程序委员会委员 （ESSDERC Technical Programme Committee），在国际期刊和会议上发表了多篇论文并申请了多项专利。现主要承担国家重大专项中相关研究课题，重点针对22纳米世代集成电路工艺和器件技术研究，欢迎有热情有志向的同学参与和加盟。 研究方向1. 纳米尺度MOS器件：包括超浅结低阻源漏技术，先进金属硅化物工艺，22纳米及以下器件技术等 2. 低温大面积柔性衬底集成电路工艺和器件技术 3. DRAM半导体存储器工艺和器件技术 4. 新能源半导体器件技术 |
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