气体质谱仪，多用于生产研究之中来监测气体和进行过程分析。气体质谱仪应用的领域十分广泛：如真空科学工业中加速器、高真空、超高真空系统和器件中的气体分析，航天航空工业中燃料箱、发动机、密封仓安全检漏、多种气体分析；电子工业中真空镀膜、微波管、彩色显像管等生产中的气体分析，环境监测中车载（船载）质谱监测、土壤、水质、空气质量分析以及表面科学分析、痕量气体分析、催化反应监测、石油化工、冶金、热重仪器的气体分析等多个方面。