过氧化氢低温等离子灭菌器的工作原理是通过过氧化氢低温等离子体进行灭菌，消毒过程中通过特定方式使医疗器械和手术器械上的多种微生物失去活性，从而达到灭菌目的。主要应用于临床的医疗材质和几何形状都符合要求的器材，只要按照要求进行使用，该灭菌柜就能恒定地达到10-6SAL的灭菌水平。

过氧化氢低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。过氧化氢蒸汽通过与等离子体结合，可对医用器械和材料安全、迅速灭菌，不留任何毒性残余。灭菌过程的各阶段都是在干燥的低温环境下运行，因此不会损坏对热或水汽敏感的器械，对金属和非金属器械都适用，并能对诸如止血钳铰链等难以到达（不易扩散）的器械部位进行灭菌。

最早引入等离子灭菌技术的是美国强生公司，目前国内的生产厂家如北京凯斯普、成都老肯、山东新华等都是极具知名度的。