超声扫描显微镜介绍

原理

超声扫描显微镜的特点

优势

超声扫描显微镜介绍

它是全球最新一代的超声测试设备,可在生产线中用手工扫描方法来检测器件的缺陷等。该设备可利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。先进的声学显微成像（ AMI ）的技术是诸多行业领域在各类样品中检查和寻找瑕疵的重要手段。在检查材料本身或粘结层之间必须保持完整的样品时，这项技术的优势尤为突出。超高频超声检查可以比其他任何方法都更有效地检测出脱层，裂缝，空洞和孔隙。

原理

是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。

其可以检测：

1.材料内部的晶格结构，杂质颗粒;

2.内部裂纹;

3.分层缺陷;

4.空洞、气泡、空隙等等

超声扫描显微镜的特点

超声波探头频率：5M到40M

超声波扫描模式：A-Scan(某点扫描)、B-Scan(块扫描)、C-Scan(层扫描)、Multi-Scan(多层扫描)、Q-BAM(虚拟横截面)、T-Scan (穿透式扫描)、3-V(3维图像)、Tray-Scan(盘扫描)

最大扫描范围：12.9X12.4英寸

最大分辨率：8192X8192

选择的声波宽度：0.25纳秒到1微秒

Z轴分辨率：80纳米

优势

数据精确性：公司的专有信号处理算法可提供极其精确和可靠的评估。使用公司先进的声阻抗极性探测器（AIPD）™，甚至可以检测到仅200埃厚度的分层。此外，根据扫描尺寸与像素密度（分辨率）情况，声像可高达256兆像素。这种卓越的数据精确性正是司在缺陷检测和诊断(破损分析)领域方面取得突出成就的一个重要原因。精确的数据固然重要，然而利用该数据做出相应决策更加重要。公司拥有先进的工具和技术，能将精确数据迅速转变为可用性信息，同时还具备多种分析功能可以帮助识别各种缺陷，并确定缺陷的严重程度。在AMI成像中，各种彩图显示了详细的分析信息。公司的数字图像分析器（DIA）™采用先进计算方法处理数据，帮助客户建立自动化的接受/拒收标准。

图像质量：声学显微镜的图像质量主要取决于成像透镜。因为传感器/透镜是非常重要的元件，所以公司在我们自己的实验室生产该类元件。实际上，是唯一一家设有传感器/透镜研发实验室和制造厂的AMI公司。其他AMI设备所使用的市场上可以买到的普通传感器无法达到独特和专有的标准。传感器专为AMI分析而开发，可以提供最大的分辨率和穿透性。提供最多元化的超高频传感器，有标准件也可根据您需要特别定制。同时我们还提供技术服务，可根据您特定应用为您优化分辨率和对比度。所有透镜都经过传感器校准来验证分辨率，以确保性能最佳。超高频传感器可以提供高达7微米的分辨率。右侧的图像可以证明传感器的极佳分辨率。