词条 | EL2中心 |
释义 | 性质:这是未掺Cr的GaAs中一种常见的深能级缺陷,它是施主型的复合点缺陷中心,实际上可能是两个Ga空位与GaAs所组成的一种点缺陷。 影响:它能够补偿浅受主杂质,而使得GaAs呈现为半绝缘状态;对材料性能的稳定性具有不良影响。 减小影响的措施:为了减小EL2这种缺陷中心,可在GaAs中适当地掺入一些Cr;但又为了避免过度掺Cr所带来的其他不良影响,则可同时掺入少量的氧,以形成一些ELO中心来共同起补偿作用。于是就发展出了一种既掺Cr又掺O的所谓双掺杂技术。 |
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