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词条 GFET
释义

GFET (Gate Field Emission Triode) 栅控式场发射三极管。

在真空微电子器件的研制过程中,几年来因受到器件寿命、工作电压等因素的困扰,致使此项研究在相当的一段时间内停步不前。为获得稳定的发射和长寿命工作,一般说来,器件仍需工作在较高的电压、较高的真空度下,而且还要进行特殊的工艺处理。所谓栅控式场发射三极管,是侧重研究栅极的设计和制造对器件性能的影响,如栅孔尺寸、栅极高度等。

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更新时间:2025/3/15 13:18:49