定义

微型电子真空泵是采用压电材料作动力装置（完全抛弃电动机驱动模式），从控制到驱动彻底实现电子化，以电子集成系统完全控制气体的交换与传输，从而实现气体传输的可调性、精准性。与传统的微型真空泵相比，第一动力系统的改革抛弃了电动机驱动模式极大的缩小了动力系统的体积，进一步实现其微型化；第二增加了可控系统，以集成电路为控制元件的电路板完全实现了系统的精准可调摆脱了人工调控，完全实现了自动与智能控制。