| 词条 | 吴汉明 |
| 释义 | 1.中芯国际集成电路先进技术研究处技术处长吴汉明，男，57岁，中国国籍，研究员，中科院研究生院等离子体专业博士，美国加州大学伯克利分校半导体等离子体工艺专业博士后，现任中芯国际集成电路制造（北京）有限公司先进技术研究处技术处长，兼任国内多所大学客座教授。 吴汉明博士获2008国家科技进步奖，并承担国家863项目和重大科技专项，共有46项发明专利，著有近70篇论文。研发高密度等离子体刻蚀，研究理论和实验结果表明其等离子体密度达到深亚微米刻蚀的要求，研究结果申报了国家发明专利，发表在国际专业期刊杂志上并得到广泛引用。研发了世界上第一套可以进行等离子体工艺模拟的商业软件并得到广泛使用。2001年进入中芯国际集成电路制造（北京）有限公司后，组建了先进刻蚀技术工艺部，领导了0 .13微米刻蚀工艺，在中国实现了用于大生产的双镶嵌法制备工艺，为我国首次实现铜互连提供了工艺基础。 2.惠州金裕集团有限公司董事长吴汉明简介：现任惠州金裕集团有限公司董事长，1991年3月创办金裕集团，现该集团公司已成为一家多元化的企业。惠州市九届、十届政协委员、惠州市工商联合会（总商会）第八届执行委员会副会长、惠州市第三、四届理事会副会长、惠州市潮人文化经济促进会首届副会长.惠州市房地产业协会第五届理事会会长 |
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