请输入您要查询的百科知识:

 

词条 金属硅化物
释义

metallic silicides

金属与硅生成的化合物。

常分成两大类:(1)难熔金属硅化物,指周期表IVB、VB、VIB族元素的硅化物,如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等;(2)贵金属和近贵金属硅化物,如硅化钯、硅化铂、硅化钴等。其共同特点是:熔点高(大都在1500℃以上),最低共熔温度高(大都在1000℃以上)。电阻率低(约为10-7Ω·m),硬度高。

多在超大规模集成电路中使用,如用作金属栅、肖特基接触、欧姆接触等。

制备方法主要是用淀积金属与硅的混合物烧结而成。淀积法主要有:蒸发、溅射、电镀、化学气相淀积等。

金属硅化物的特性是与酸反应生成硅烷。SiH4.

随便看

 

百科全书收录4421916条中文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。

 

Copyright © 2004-2023 Cnenc.net All Rights Reserved
更新时间:2024/12/23 16:09:42