X射线与物质相互作用会产生：散射X射线、电子、荧光X射线；还有穿过物质的透射X射线 和 热能。反冲电子就是其中的一种电子。

产生的电子包括有俄歇电子、光电子、和反冲电子。

X射线散射中的非相干散射，当能量为hv的光子与自由电子或与受核束缚较弱的电子碰撞，将一部分能量传给光子，使其动量提高，成为反冲电子。