图书名：真空溅射镀膜设备(图书信息：)

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图书名：真空溅射镀膜设备

图书信息：

作　者：本社 编

出 版 社：机械工业出版社

出版时间：2010-7-1

版　次：1页　数：

字　数：13000

印刷时间：2010-7-1

开　本：大16开

纸　张：胶版纸

印　次：1

I S B N：151119760

包　装：平装

目录

前言

1 范围

2　规范性引用文件

3　型号与基本参数

4　技术要求

4．1 设备正常工作条件

4．2 结构要求

4．3 制造质量

4．4　安全防护要求

5　试验方法

5．1 极限压力的测定

5．2　抽气时间的测定

5．3　升压率的测定

5．4　溅射电流的变化率的测定

5．5　测量用仪表设备

6 检验规则

7　标志、包装、运输和贮存

7．1 标志

7．2 包装

7．3　运输

7．4　贮存

表1　基本参数