| 词条 | 六氟乙酰丙酮钯(II) |
| 释义 | 基本信息中文名称： 六氟乙酰丙酮钯(II) 英文名称： Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate 英文别名： Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate CAS号： 64916-48-9 分子式： C10H8F18O4Pd 线性分子式： Pd(C5HF6O2)2 分子量： 520.52 MDL号： MFCD00015709 Beilstein号： EC号： 265-271-1 性状描述黄色粉末 用途说明MOCVD前驱体化合物；均相催化剂; 用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺；用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备 危险说明危险代码:Xi 危险等级:36/37/38 安全等级:26-36 |
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