高纯气体系统用吹洗组件

气体工业名词术语。电子气体大都是有毒或腐蚀性气体，在更换电子气体钢瓶时，必须先用惰性气体吹扫管路，以避免毒性或易燃气体逸出，以防中毒和污染环境；同时可防止由于空气中的水分和氧气进入管路系统而导致系统被腐蚀和污染。每一个组件包括一个单向阀和一个切断阀，以防钢瓶气返流进入吹扫气源。吹洗组件有“T”形，“Z”形，“+”形吹洗组件。材质采用316或316L不锈钢。