简述
概念
强反型状态
在通常的MOS器件中,反型层构成导电沟道,是器件导通的原因。表面反型状态对MOS器件至关重要。
在反型状态下,反型载流子主要分布在紧靠表面的薄层内,其厚度约为10nm,比下面的耗尽层薄得多。一般假定反型层是一个厚度可以忽略的薄层,这一假设称为电荷薄层近似,全部降落在其下的耗尽层上。
半导体表面的少数载流子浓度等于体内的多数载流子浓度时,半导体表面开始强反型。
强反型时,表面势近似为不变的数值,耗尽层电荷及耗尽层厚度有极大值,此时过剩栅压只是形成反型层电荷。
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