在许多类 Unix 计算机系统中， procfs 是 进程 文件系统(file system) 的缩写，包含一个伪文件系统（启动时动态生成的文件系统），用于通过内核访问进程信息。这个文件系统通常被挂载到 /proc 目录。由于 /proc 不是一个真正的文件系统，它也就不占用存储空间，只是占用有限的内存。

以下操作系统支持 procfs :

SolarisBSDLinux（将此概念扩展到了非进程相关数据）IBM AIX （其实现基于Linux以提高兼容性）QNX

贝尔实验室九号计划（此概念之源头）

UNIX 8th Edition

Tom J. Killian 实现了 UNIX 8th Edition 版本的 /proc：他1984年6月向 USENIX 提交了一份题为 "Processes as Files" 的论文。procfs 的设计目标是用来替代进行进程跟踪的 ptrace 系统调用。 详细文档请参考 proc(4) manual page。

SVR4

Roger Faulkner 和 Ron Gomes 将 V8 的 /proc 移植到了 SVR4，并在1991年1月的 USENIX 上发表了一篇题为 "The Process File System and Process Model in UNIX System V" 的论文。此类 procfs 支持 ps 的创建，但是文件只能由如下函数访问： read(), write(), ioctl().

九号计划

九号计划 实现了一个进程文件系统，但比 V8 做得更多。V8 的进程文件系统中，对一个进程相关的所有函数都在一个文件进行操作。九号计划使用单独的文件，提供这些函数，使得/proc 成为文件系统真正的一部分。

4.4BSD

4.4BSD 基于九号计划 克隆得到了其 /proc 系统。注意，在 FreeBSD 中 procfs 已被放弃。默认安装的 base 系统不依赖 procfs，FreeBSD 本地 ports 也不再依赖 procfs。

Solaris

Solaris 2.6 的 /proc（完成于 1996）也克隆了九号计划.

Linux

Linux中的 /proc实现也克隆了 九号计划 中对应的部分。Linux中的 /proc 包括：

Linux下使用 /proc 的基本工具是 procps (/proc processes) 中的程序，这个程序只对 procfs 具有意义。procfs 对部分功能从核心态移到用户态的过程中产生重大的意义。像是 GNU 版本的 ps 只需在用户态底下运作通过 procfs 取得数据便可以完成所有的工作。Linux 2.6 核心开发者把 /proc 下大量的非进程相关的文件移动到一个特有的伪文件系统，称为 sysfs（该文件系统是挂载到 /sys 上面）。