姓名：薛晨阳性别：男

学历：博士

职称：教授

职务：主任助理

研究方向：纳机电器件 MEMS器件及系统

薛晨阳，男， 1971年11月生，山西人，博士，教授，博士生导师,重点实验室副主任。2005年被评为山西省青年学科带头人，和2007年被评为教育部世纪优秀人才。目前从事的研究内容有：新型微米纳米器件、微纳测试技术、固体光谱学与微光学气体传感器。

薛晨阳，1971年11月生，山西人，博士，教授，博士生导师。 1994年山西大学物理系获理论物理专业学士学位；1997年在山西大学光电研究所，获量子光学及激光技术专业硕士学位；2003年在希腊雅典国立科技大学物理系，获得半导体材料专业博士学位。2005年聘为“仪器科学与动态测试”教育部重点实验室副主任。2005年被评为山西省青年学科带头人，和2007年被评为教育部世纪优秀人才，2009年，山西省高校拔尖人才。 作为项目负责人完成了国家863计划、国家自然科学基金项目、山西省归国留学人员基金等项目，目前在研项目有：863“面向安全的监测与跟踪网络化微系统”项目的子课题、科工委基础科研项目、山西省自然科学基金项目和重点实验室开放开题项目，并且作为项目第二负责人或骨干力量承担了国防973项目和总装预研项目研究的部分工作。

近年来在Journal Applied Physics、Thin Solid Films、 Optics Letters、中国科学等国内外期刊上已发表论文60余篇，被SCI收录25篇，被SCI引用70多次；出版专著2部；获2007年山西省科技进步奖三等奖一项，排名第二。

近年来承担的教学任务：承担本科的《固体物理》、《光电子技术》、《激光应用基础》和研究生的《半导体物理》、《专业英语》等多门课程的教学工作。教学过程中采用多媒体和双语教学，特别是结合实验室的实验条件开展了与课堂教学内容结合的演示实验，收到良好的效果，受到学生的好评。在研究生培养方面，指导硕士研究生12名，协助指导博士3名。在研究生培养过程中，特别注重学生个人能力和特长的培养，启发和引导研究生自主开展研究工作，及时解决研究生在研究过程中遇到的问题。在所指导的硕士研究生中，大多数学生都发表了SCI论文，每届都有学生被评为优秀毕业生。并已将多名硕士推荐到德国、希腊、法国、挪威、香港攻读博士学位，一名考入北京大学读博士学位。

主要研究工作：目前从事的研究内容有：新型微米纳米器件（MEMS/NEMS）、微纳测试技术、固体光谱

学与微光学气体传感器的研究工作。已完成国家863计划子课题，山西省自然科学基金项目，山西省归国留学人员基金项目和省专家基金项目等多项。

目前作为项目第一负责人的在研项目有：国家自然科学基金项目《纳米尺度的超晶格半导体薄膜中力电耦合效应的试验研究》、国家863计划课题《危化品气体检测MEMS传感器研发及其产业化技术》的子课题和科工委基础科研项目，并且作为项目第二负责人或骨干力量承担了国家973项目、863项目和总装预研项目研究的部分工作。近年来在Journal Applied Physics、Thin Solid Films、 Optics Letters、中国科学等国内外期刊上已发表论文70余篇，被EI收录40多篇，被SCI收录25篇，被SCI引用70多次;

主要招生方向：精密仪器机械（微纳器件与系统、惯性测量系统方向）、测试计量技术及仪器（集成测量系统及仪器、微纳仪器及测试技术方向）、微纳技术及仪器、物理电子学研究方向：微系统集成、晶体电子学、薄膜器件。

学历和研究工作简历

2008．08-2009.03，英国牛津大学，访问学者

2005.09至今，中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，副主任

2008.07至今，中北大学电子与计算机科学技术学院，教授

2003．10-2008.07，中北大学电子与计算机科学技术学院，副教授，硕导

1999.09—2003.09，希腊雅典国立科技大学物理系半导体材料专业,获博士学位

1997.09—1999.09，山西电信科研所, 软件工程师

1994.09—1997.07，山西大学光电研究所量子光学及激光技术专业，获硕士学位

1990.09—1994.07，山西大学物理系理论物理专业，获学士学位

近期发表与项目相关的主要论文

1、Xue Chenyang, Zheng lina, Zhang Wendong, Zhang Binzhen, A dynamic stress analyzer for microelectromechanical systems (MEMS) based on Raman spectroscopy, Journal of Raman Spectroscopy, Vol 38 (2007) p467. (SCI)

2、Chenyang Xue, Zhaomin Tong, Binzhen Zhang, Wendong Zhang, A Novel Vector Hydrophone Based on the Piezoresistive Effect of Resonant Tunneling Diode., IEEE Sensors Journal, Vol. 8, NO. 4, APRIL 2008 401-402. (SCI)

3、Chenyang Xue, Shang Chen, Wendong Zhang, Binzhen Zhang ,Guojun Zhang, Hui Qiao, Design, fabrication and preliminary characterization of a novel MEMS bionic vector hydrophone, Microelectronics Journal 38 (2007) 1021-1026.(SCI)

4、Chenyang Xue, Shang Chen, Hui Qiao, Wendong Zhang, Jijun Xiong, Binzhen Zhang, Guojun Zhang, Development of a Novel Two Axis Piezoresistive Micro Accelerometer Based on Silicon, Sensor letter, Vol .6, No.1,2008.02 pp. 149-158(10).(SCI)

5、Jie Hu, Chenyang Xue, Wendong Zhang, Jijun Xiong, Binzhen Zhang, Hui Qiao,A Piezoresistive Microaccelerometer Based on Resonant Tunneling Heterostructures, Sensor Letters,Vol 6, No.1, p. 197-203 (2008) (SCI).

6、Wendong Zhang, Chenyang Xue, Jijun Xiong, Tianjie Wei, Bin Xie, Piezoresistive effects of resonant tunneling structure for application in micro-sensors，Indian Journal of Pure & Applied Physics, Vol.45 p294 (2007). (SCI)

7、Wendong Zhang, Shengbo Sang, Chenyang Xue, Dimitra Papadimitriou, Raman tensor and selection rules for a chemical vapor transport-grown chalcopyrite single crystal, Journal of Raman Spectroscopy, Vol. 36, (2005), P. 777. (SCI)

8、Wang Jian, Zhang WenDong, Xue Chenyang, Xiong JiJun, Liu Jun, Xie Bin, Pressure effects in AlAs/InxGa1−xAs/GaAs resonant tunnelling diodes for application in micromachined sensors, Chinese Physics, Vol 16 No 4 2007) p1150. (SCI)

9、Zhang Binzhen, Wang Jian, Xue Chenyang, Wendong Zhang, Xiong Jijun, A GaAs acoustic sensor with frequency output based on resonant tunneling diodes, Sensors And Actuators A-Physical 139 (1-2): 42-46 Sp. Iss. SI, SEP12 2007. (SCI)

10、Wendong Zhang, Jie Hu, Chenyang Xue, Binzhen Zhang, Jijun Xiong, Jun Liu, Hui Qiao, Piezoresistivity in GaAs/InxGa1-xAs/AlAs Superlattice Structures”, Phys. Stat. Sol. (RRL) 2, No.1, p. 43-45(2008) (SCI).

11、Xu HongYan, Jian AoQun, Xue ChenYang, Chen Shang, Zhang BinZhen, Zhang WenDong, Zhang ZhiGuo, Feng Zhen,Temperature dependence of biaxial strain and its influence on phonon and band gap of GaN thin –film, Chinese Physics B, 2008,17(6):2245-2250. (SCI)

12、Wenyi Liu, Zhaomin Tong, Chenyang Xue, Binzhen Zhang, Mengwei Li, Wendong Zhang, Design, Fabrication and Testing of GaAs/AlAs/InGaAs Resonant Tunneling Vector Hydrophones, Sensor Letters, Vol.6, 1–8, 2008. (SCI)

13、Tan Qinlin, Zhang Wendong, Xue Chenyang, Xiong Jijun, Ma Youchun, Wen Feng, Design of mini-multi-gas monitoring system based on IR absorption, Optics And Laser Technology, 40 (5): 703-710 JUL 2008.(SCI)

14、Zhen GuoYong, Jian AoQun, Xu HongYan, Xue ChenYang , Zhang WenDong, Comparison between photoluminescence spectroscopy and photoreflectance spectroscopy in CuGaSe2 epilayer, Chinese Physics B, Vol 17, No .4, April 2008 pp. 1454-1460. (SCI)

15、Bo Li, Wendong Zhang, Bin Xie, Chenyang Xue, Jijun Xiong, Development of a novel GaAs micromachined accelerometer based on resonant tunneling diodes, Sensors and Actuator A: Physical, Volume 143, Issue 2, 16 May 2008, pp 230-236. (SCI)

16、Xu Liping, Wen Tingdun, Yang Xiaofeng, Xue Chenmyang, Xiong Jijun, Zhang Wendong, Wu MZ, Hochheimer, HD, Mesopiezoresistive effects in double-barrier resonant tunneling structures, Applied Physics Letters, 92 (4): Art. No. 043508 JAN 28 2008.(SCI)

17、Zhang Binzhen, Qiao Hui, Chen Shang, Liu Jun, Zhang Wendong, Xiong Jijun, Xue Chenyang, Zhang Guojun, Modeling and characterization of a micromachined artificial hair cell vector hydrophone, Microsystem Technologies Micro And Nano systems Information Storage And Processing Systems, 14 (6): 821-828 Jun 2008. (SCI)

专著

1、薛晨阳，张文栋，半导体薄膜光谱学，科学出版社，2009。

2、Wendong Zhang, Chenyang Xue，Storage Measurement Technology, Science press USA Inc,2006.

获奖

1、熊继军，薛晨阳，张文栋，张斌珍，王红亮，翟成瑞，孟令军，杨卫，李杰，苏淑靖，基于拉曼光谱的园片级微结构应力测试方法与设备，山西省科技进步三等奖，2007年12月。

2、张文栋，刘俊，石云波，秦丽，熊继军，薛晨阳，MEMS加工平台评估与器件测试评价，山西省高等学校科技进步一等奖，2008年8月。

专利

1、张文栋，刘俊，熊继军，薛晨阳，张斌珍，谢斌，桑胜波，王建，陈建军，共振隧穿压阻式微加速度计，发明专利，专利号：ZL 2005 1 0012814.8，授权时间：2008年1月23日。

2、张文栋，秦丽，熊继军，刘俊，薛晨阳，石云波，秦海涛，三轴微加速度计轴心差角的四点测试方法，发明专利，专利号：ZL 2005 1 00125188，授权时间：2008年1月9日。

3、张文栋，刘俊，熊继军，薛晨阳，张斌珍，谢斌，桑胜波，王建，陈建军，共振隧穿微声传感器，发明专利，专利号ZL 2005 1 0012815.2，授权时间：2008年11月26日。

4、秦丽，张文栋，熊继军，刘俊，薛晨阳，张学松，利用冲击加速度发生器测量微加速度计动态线性的方法，发明专利，专利号：ZL 2006 2 0024080.5，授权时间：2008年2月13日。

5、刘俊，张文栋，石云波，薛晨阳，任勇峰，崔永俊，王昊宇，杨林森，铝基叠层高过载压电驱动器，发明专利，专利号：ZL 2006 1 0012584.X，授权时间：2008年10月15日。