设备概述：

石墨舟装片房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器，确保吹出的空气达到净化要求。

工作原理：

空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。

主要特点：

1、能准确的使石墨舟承载装片车定位；

2、采用不锈钢制造，整机结构坚固可靠；

3、采用GK系列高效空气过滤器3只；

4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；

5、净化风机噪音小于50dB。

6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。

技术参数：

型号　 CLM-SMZPF-01

电机功率　800W 220V

外型尺寸（长*宽*高）　1585*888*2590mm