上海交通大学微纳科学技术研究院系学校直属研究院，是专门从事微米纳米科学与技术基础和应用基础研究，以原创性成果和经济建设为目标，开展以非硅微细加工与微机电系统（MEMS）、纳米生物医学、纳米电子学与器件的制造技术为主要研究方向的多学科研究平台。学科交叉明显，研究条件先进，具有较强的科技攻关和较高的学术水平。

简介

院领导简介

行政机构

研究对象(1．非硅微细加工与微机电系统 2．纳米生物医学 3．纳米加工与器件)

简介

上海交通大学微纳科学技术研究院设有“微电子学与固体电子学”和“纳米材料科学与工程”博士点，“微电子学与固体电子学”硕士点，招收和培养来自不同学科的硕士、博士、博士后，设有“薄膜与微细技术”教育部重点实验室、“微米纳米加工技术”国家级重点实验室。是学校“211”一期、“211”二期、“985”一期重点投资建设单位之一。

研究院位于上海交通大学闵行校区综合实验楼。

自上世纪九十年代中期起，研究院系统地开展微机电系统、三维非硅微加工技术和单电子器件等方向的应用基础研究，随后，相继开展纳米电子学及器件、纳米探测器和传感器、碳纳米管、碳化硅晶须和复合材料、各种纳米薄膜、纳米超顺磁性颗粒、纳米超顺磁性复合微球、树形分子、金纳米粒子等方向的基础理论及应用技术研究，取得了一系列国内先进水平的科研成果和重要进展：主要在非硅材料的三维微细加工技术中，兆声波显影技术、深层微盲区小孔电铸技术、微复制技术等微制造技术处于国内领先，成为国内三维非硅材料重要加工和研究基地之一；直径1mm和2mm的电磁型微马达、重量0.1克的微型直升飞机、模数0.03直径2mm的微行星齿轮减速器、MEMS密码锁、形状记忆合金薄膜驱动的微泵，单电子特性的原理型晶体管，金刚石镀层技术，纳米碳管制备及排布技术、纳米传感器制备及集成技术、纳米压印曝光技术；纳米超顺磁性材料可控设备技术、磁热疗技术、材料表面分子设计与修饰等，其中“实用电磁型微马达关键技术研究”获2000年国家技术发明二等奖、“原位复合法抗紫外聚酯纤维”和“MEMS强链及其应用研究”获2006年教育部技术发明一等奖、“同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统”获2006教育部科技奖专利发明一等奖。

研究院所属实验室面积为5000m2，其中净化面积1400m2，主要设备：高真空纳米薄膜溅射系统、多靶磁控溅射系统、双面光刻机、反应离子刻蚀仪、扫描电子显微镜、电化学分析仪、等离子增强化学气相沉积仪、电子束蒸发沉积设备、真空热压机、俄歇电子能谱仪、表面轮廓仪、氧化扩散炉、4吨18兆去离子水系统、高效液相色谱仪、荧光分光光度计、Zata电位分析仪等设备构成微器件与微系统研究和纳米生物医学与纳米器件研究的主要装备。

研究院有中科院院士一名，兼职院士二名、长江学者一名，校特聘教授一名、教授（包括研究员3名）14名，副教授14名，博士生导师10名，兼职博士生导师4名；通过来自物理、化学、材料、电子、计算机、精密机械、自动化、生物等学科的多年凝炼与融合，已形成一支多学科交叉的学术和研究队伍。

院领导简介

杨春生

微纳科学技术研究院总支书记

许敏忠

微纳科学技术研究院总支副书记

赵小林

微纳科学技术研究院副院长（主管实验室）

王庆康

微纳科学技术研究院副院长（主管教学）

陈迪

微纳科学技术研究院副院长（主管国际交流与合作）

行政机构

教学管理

主管：王庆康

教学秘书：高峰

工作职责：

工程硕士、硕士、博士的招生宣传、招生、入学、论文及毕业等工作；

博士后入站、出站的管理工作；

工程硕士、硕士、博士每学期的课程安排；

学生的课程选、免、重修工作；

教学行政及学籍管理工作。

科研管理

主管：杨春生

科研秘书：丁文

工作职责：

协助分管院领导做好各项科研项目的申报和管理工作；

纵向项目在各时间段所需要的中期报告、进展情况等的通知以及汇总提交；

对核心期刊、EI、SCI及引用文章的本单位认定和相应的奖励；

年底核算各研究室上报的科研情况汇总、统计和结算工作；

财务会计。

组织人事宣传

主管：许敏忠

组织宣传干事：季自军

工作职责：

协助办公室主任执行招聘和聘任等相关工作；

研究院院教职员工数据库和组织人事档案的管理；

组织落实学院院刊网站信息化建设工作；

落实国际化办学/院级学术活动宣传组织；

对口学校相关部处，处理完成相关事务性工作。

学生思政

主管：许敏忠

思政教师：季自军

工作职责：

负责全院研究生思想政治和日常管理工作；

学生党支部工作和班级组织建设；

入党积极分子的确定、培养、考察和党员的发展工作；

研究生入学教育、学生奖惩、毕业生离校教育和就业指导工作；

组织研究生参加学校和院里的各项文体活动。

办公服务

办公室主任：许敏忠

办公室成员：高峰

工作职责：

协助办公室主任处理办公室日常行政工作；

学术会议等的接待工作；

财务出纳。

研究对象

1．非硅微细加工与微机电系统

随着MEMS技术的持续进步及其应用领域不断拓展，微器件和微系统结构复杂性与功能多样性的趋势日趋明显，非硅材料的应用需求也日益增加，由此带动非硅MEMS材料、微细加工及其应用技术的全面发展，正逐渐形成与目前占主导地位的硅基MEMS相对应的非硅MEMS技术体系。其中，非硅微细加工技术是基础，非硅MEMS器件与系统技术是关键。

得益于材料种类的广泛多样性，非硅MEMS技术拥有非常广阔的发展空间，充分借鉴硅基MEMS技术发展的经验，合理利用传统材料科学研究的长期积累，吸收材料科学与先进制造技术的最新进展，非硅MEMS技术的前景将不可限量。

2．纳米生物医学

纳米生物医学已成为纳米科学技术的重要领域之一，其根本原因在于：当代分子生物学的发展正在深刻地改变着人类对疾病发生机制及生命现象的认识，这些认识正在促使传统的基于器官层次、组织层次的医疗技术，迅速地被基于蛋白质、DNA等分子层次的生物医学技术取代。纳米技术在这一过程中无疑地扮演了一个“工具”的作用，纳米技术注重对纳米量级分子结构的分析和操纵，可实现对单个或数个生物活性分子的探测、修饰、输运、传导等等，从而完成对生理病理现象的精确观察或调控。纳米技术在生物医学领域的应用，将开辟一片崭新的天地。

3．纳米加工与器件

纳米技术及相关设备的研究水平，直接反映了一个国家和地区在该领域的整体发展程度，它构成了纳米科技领域的关键部分。就目前而言，纳米电子工业和尖端机械工业，都依赖与纳米制造精确度的不断进步。纳米技术在研究量子力学、化学、机械学、热力学等领域的新型物理和化学效应中起到了必不可少的作用。这有助于我们更好的理解自然，并在此基础上创造新的社会生活。众所周知，新型的物理和化学效应只出现在材料的纳米特征尺寸内，因此，纳米结构的材料制造是进行以上各种实验和研究工作的重要前提，我们正努力在这个领域开展深入的研究工作。