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词条 宽带隙半导体技术国家重点学科实验室
释义

简介

宽带隙半导体技术国家重点学科实验室依托西安电子科技大学,是在宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室的基础上,2007年国家批准建设的国家级重点实验室,2008年实验室成为我国国防科技创新团队,是中国宽带隙半导体材料与器件研究的主要基地。

实验室发展历程

宽带隙半导体技术国家重点学科实验室是在宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室的基础上,2007年国家批准建设的重点实验室。实验室重点开展宽带隙(宽禁带)半导体材料与器件的应用基础研究。实验室是西安电子科技大学国家集成电路人才培养基地、微电子学与固体电子学国家重点学科和211”工程 重点建设学科的重要支撑。

实验室条件

学术委员会

学术委员会的主要职责:审议实验室的研究方向、学术上的重大问题,推荐优秀学术成就、科研课题、研究成果。

学术委员会名单如下:

姓名 职称 工作单位

郝跃 教授 西安电子科技大学

夏建白 院士 中国科学院半导体研究所

沈绪榜 院士 航天771所

张兴 教授 北京大学

王燕 教授 清华大学

汪宏 教授 西安交通大学

崔铁军 教授 东南大学

蔡树军 研究员 中国电子科技集团第13所

陈效建 研究员 中国电子科技集团第55所

刘新宇 研究员 中国科学院微电子研究所

陈志明 教授 西安理工大学

陈长清 教授 华中科技大学

杨银堂 教授 西安电子科技大学

庄奕琪 教授 西安电子科技大学

张玉明 教授 西安电子科技大学

科研团队

据该实验室网站资料显示,该重点实验室有一支基础素质高、知识面宽,充满朝气、年轻有为的科研队伍。其中教授26人,副教授18人,讲师31人,助教20人;大于50岁的人员有12人,小于30岁的人员有37人;35人具有博士学位,44人具有硕士学位。

科研生产环境与设备

该实验室拥有从宽禁带材料制造设备、材料制造工艺到微波功率器件、高亮度LED器件管芯制造工艺,微波功率模块、微纳米器件可靠性以及VLSI电路设计等若干项自主关键技术,具有明显特色。

据该实验室网站资料介绍,该实验室拥有一套完整的宽禁带材料生长和器件研制的工艺设备和环境,400平方米以上面积的超净实验室环境3套和完整的测试分析设备。1000级微电子超净工艺实验室超净间,连同材料生长、器件制作和相关表征设备,形成了一条完整的化合物半导体材料和器件工艺线。

实验室支撑

微电子学与固体电子学国家重点学科

国家“211”工程重点建设学科

国家集成电路人才培养基地

陕西省大功率半导体照明工程研究中心

西安航天-西电新型半导体器件研发中心

科学研究

简介

实验室从20世纪90年代开始宽禁带半导体科学研究和人才培养,已成为国内外宽禁带半导体材料和器件的科学研究、人才培养、学术交流、成果转化方面的重要基地,2008年实验室成为中国国防科技创新团队。

实验室重视研究成果与应用的结合,多项研究成果已经用于国家和国防重点工程。高质量的GaN和SiC材料外延片可批量提供企业和研究所使用;微波功率器件已经开始用于国家重点工程;GaN的LED成果已经成为陕西省半导体照明的核心技术,产生着辐射和带动作用;自主的MOCVD设备和核心技术开始实现产业化;微纳米器件可靠性技术对推动我国高可靠集成电路发展发挥了重要作用。

实验室研究方向

以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)和氧化锌(ZnO)为代表的宽禁带半导体是继硅和砷化镓(GaAs)之后的第三代半导体材料,具有高击穿电场、高饱和电子速度、高热导率、高电子密度、高迁移率等特点,可实现高压、高温、高频、大功率、抗辐射微波毫米波器件和短波长光电半导体器件。宽禁带半导体是新一代雷达、通信、电子对抗系统最关键的半导体器件,也是新一代半导体照明关键的器件。

实验室主要研究方向包括:GaN和SiC宽禁带半导体微波毫米波器件;GaN半导体光电子器件与半导体照明技术;宽禁带半导体材料生长核心设备研究;宽禁带半导体材料和器件新机理、新结构与新技术;微纳米半导体器件可靠性与SoC设计。

实验室承担项目

“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”重大科技专项

国家(国防)重大基础研究(973)项目

国家自然科学基金重点和面上项目

国家863计划高技术项目

国防科技预先研究项目

军用电子元器件型谱项目

中俄航天领域科技合作项目

国家电子发展基金和陕西省电子发展基金

成果奖励

科研成果

GaN异质材料与器件相关基础研究 宽禁带半导体器件抗辐照特性研究

宽禁带半导体器件可靠性研究 宽禁带半导体专用设备研制

宽禁带半导体应用与产业化 微纳米半导体器件可靠性

微纳米集成电路SoC设计 GaN基电子材料基础研究

MOS器件的热载流子效应 薄栅氧化层的经时击穿

NBTI和CHC效应的分解 MOS器件的NBTI 效应

非极性GaN材料研究 

科研获奖

实验室获得的部分科研奖项:

2009年国家技术发明奖二等奖 1998年国家科技进步三等奖

2008年国家科技进步二等奖 1987年电子工业部科技进步一等奖

2005年陕西省科学技术一等奖 2007年中国高等学校科学技术一等奖

2006年国防科学技术二等奖 2001年国防科学技术二等奖

1999年信息产业部科技进步二等奖 1989年机电部科技进步二等奖

2006年国防科学技术二等奖 2006年国防科学技术二等奖

2007年陕西省科学技术二等奖 2007年中国高等学校科学技术二等奖

2008年国防科学技术二等奖 2009年国防科学技术奖一等奖

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更新时间:2025/2/7 2:47:45