所谓的界面态是指硅-二氧化硅界面处位于禁带中的能级或能带。它们可在很短的时间内和衬底半导体交换电荷，故又称快界面态。

界面态一般也分为施主和受主两种。不论能级在禁带中的位置如何，若能级被电子占据时呈电中性，施放电子后呈正电性，则都称为施主型界面态；若能级空着时为电中性状态，而接受电子后带负电，则称为受主型界面态。