释义

种类

制造方法

释义

词目：沟渠

拼音：gōu qú

词义：为灌溉或排水而挖的水道的统称。

基本解释

1.　 [moat]∶护城河

2.　 [irrgation canals and ditches]∶排水道

详细解释

1.　 为防守或灌溉、排水而挖的水道。

《墨子·节葬下》：“若苟寡，是城郭沟渠者寡也。” 宋 陆游 《老学庵笔记》卷六：“京师沟渠极深广，亡命多匿其中。” 郭沫若 《苏联纪行·六月十七日》：“机场有沟渠，是人工挖掘的。”

2.　 借指荒野。

汉 扬雄 《解嘲》：“当涂者升青云，失路者委沟渠。” 明 王錂 《寻亲记·剖面》：“我自思家贫貌美，陷我夫身丧沟渠。”

种类

Ａ：沟渠可以大略地分成两种。一种是平常在路边随处可见的雨水下水道，另一种是将住家以及工厂的废水，以密闭管道的方式，输送到污水处理厂的污水下水道。目前雨水下水道的建设大致上已经完成，而污水下水道的建设依旧有赖政府和人民的互相配合，共同将污水下水道的连接普及化。

制造方法

一种浅沟渠隔离结构的制造方法，于一基底上依序形成垫氧化层、罩幕层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，然后于基底中形成一沟渠。接着，再于沟渠表面形成衬氧化层，且于基底上形成绝缘层并填满沟渠。随后以罩幕层作为研磨终点，以使用光学终点侦测系统作终点侦测的化学机械研磨制作工艺去除罩幕层上的绝缘层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，其中罩幕层的厚度控制在第一固定范围，且介电抗反射涂布层的厚度控制在第二固定范围，使得光学终点侦测系统所使用的光源可以产生具有最大的反射光信号。然后再去除罩幕层与垫氧化层。

1、一种浅沟渠隔离结构的制造方法，其特征在于：其步骤包括：提供一基底；于该基底上形成一垫氧化层；于该垫氧化层上形成一罩幕层；于该罩幕层上形成一介电抗反射涂布层；于该介电抗反射涂布层上形成一顶盖氧化层；于该顶盖氧化层上形成一图案化光阻层；以该图案化光阻层为罩幕，对该顶盖氧化层、该介电抗反射涂布层、该罩幕层与该垫氧化层进行蚀刻，并持续蚀刻至该基底内，以形成一沟渠；去除该图案化光阻层；于该沟渠的表面形成一衬氧化层；于该基底上形成一绝缘层并填满该沟渠；以该罩幕层作为研磨终点，利用一化学机械研磨制作工艺去除该罩幕层上的部分该绝缘层、该介电抗反射涂布层与该顶盖氧化层，其中，该化学机械研磨制作工艺中使用一光学终点侦测系统作终点侦测；去除该罩幕层；移除该垫氧化层，其中，该罩幕层的厚度被控制在一第一固定范围，且该介电抗反射涂布层的厚度被控制在一第二固定范围，使得该光学终点侦测系统所使用的一光源可以产生具有最大的反射光信号。