简介

盖德于1915年制成扩散泵，1916年经I.朗缪尔改进，应用扩散泵能获得10□帕的真空。扩散泵最初用汞,尔后用油作泵液,但油扩散泵的油蒸气反向流入被抽器件,会造成表面油污染。为此，真空系统常用一种无油的溅散离子泵。1937年F.M.潘宁观察到用磁场局限的直流放电具有抽气效应；但到1958年，L.D.霍耳才将几个潘宁室组合成实用的离子泵。

这是一项日趋重要的技术，其原理是利用超低温时的凝结和吸附来排气，其特点是排气表面位于排气室中,抽速不受排气管的限制,抽速要求越大越能显示低温泵的优点。低温泵很容易得到1000米□/秒的抽速。1961年美国的R.金等人提出一种实用的低温排气系统。

应用电子碰撞气体产生离子流，用离子流来量测真空度，是高真空测量的基本原理。1916年，O.E.布克来研制出能测10□帕真空度的电离真空规。1947年,W.B.诺丁汉指出上限是由于X射线产生的光电子。1950年，R.T.贝亚得及D.阿尔波特将收集极的圆筒改为细线，以减少截获X射线而能测到10□帕。　真空电子材料及工艺 从爱迪生发现热电子源后，需要有在高真空中耐高温工作的材料。1903年A.威耐尔特发现碱土金属的氧化物,能在1100K下有显著的发射电子能力,并于1906年用氧化物阴极装入整流管内。1909年，W.D.库利吉用粉末冶金法制取纯钨丝阴极,但需2300K高温才能发射电子。1934年，朗缪尔研制钍钨丝（钨中掺入0.5%～2%的钍）阴极,可将阴极温度降至2000K左右。由于阴极在高温工作时表面有蒸发及溅散损失，为了弥补这种损失，1950年 H.J.莱门斯等提出储存式的L阴极，其结构是发射面为多孔的钨表面。钨表面下有钡锶碳酸物的储存。

在大功率广播发射管发展初期，须用无氧铜阳极与玻璃封接。1923年,W.G.豪斯基伯研究刀口封接方法。铜的薄刀口具有塑性流动，消除了铜与玻璃膨胀系数不匹配所引起的应力。1930年，H.斯高特研究能与硬玻璃封接的低膨胀系数的铁镍钴合金(可伐合金)。