书 名: 纳米压印技术
作 者:孙洪文
出版社: 电子工业出版社
出版时间: 2011年1月1日
ISBN: 9787121121999
开本: 16开
定价: 36.00元
《纳米压印技术》详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法,它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构,而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。《纳米压印技术》不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考,也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴。同时,《纳米压印技术》深入浅出,通俗易懂,也具有一定的科普价值。
第1章 绪论
第2章 纳米压印工艺概述
第3章 纳米压印印章制备的新方法
第4章 纳米压印结果分析
第5章 纳米压印的理论
第6章 纳米压印仿真
第7章 纳米压印技术的应用
第8章 纳米压印技术的发展前景
参考文献