解毒装置（Detoxify Units）

　气体工业名词术语。电子气体生产和使用过程中排放的有毒尾气，必须经过特定装置以不同的工艺方法处理，使其达到环境保护标准后方可排放，这种装置称解毒装置。解毒是通过物理或化学方法将有毒物质转化为无毒，安全物质的过程。通常采用的方法有：燃烧法，化学吸收法，吸附法（含物理吸附和化学吸附），热分解法和稀释法等。解毒装置分为干法解毒装置，湿法解毒装置及干湿结合的解毒装置。后者适用于处理含砷烷，磷烷，乙硼烷，硅烷，硫化氢，氯化氢，氨等多种有毒气体。