词条 | 高纯气体系统用膜片阀 |
释义 | 高纯气体系统用膜片阀(Usedin High Purity Gas System Membrane Valve) 气体工业名词,其工作原理是由与手轮一起转动的阀杆将阀头压下,使阀关闭。靠弹簧和气压将阀头抬起,使阀开启,膜片将介质与大气隔开。其优点是密封性好,可靠,死区小,其死区体积不到相同口径波纹管阀的一半。易于排除痕量残留气体;阀头与阀座间无相对摩擦,不会有金属粒子落入介质中,具有可以同时满足高压,真空,高低温的综合性能。膜片或截止阀工作压力可达21MPa,适用温度-54~316℃,漏气速率1。33×10-7PaLs。 |
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