惰性原子气体激光器(inert gas laser)

以惰性原子气体为激光工作物质的气体激光器。包括氦氖激光器、氙激光器等。氦氖(H-Ne)激光器诞生于1962年，属四能级系统，工作气体是氦气和氖气。其中氖原子产生激光，氦原子把它的激发能共振转移给氖原子，用以提高泵浦效率。氦氖激光器输出功率不大，一般为几毫瓦到几十毫瓦，与放电管长度和直径、充气气压、氦氖混合比、放电电流、输出镜透射率等因素有关。普通氦氖激光器输出波长为632.8nm的红色激光，采取一定措施后，可以得到绿色(543.5nm)、黄色(594nm)、红外(1.15nm和3.39nm)激光。氦氖激光器具有光束质量好、方向性好、单色性好、稳定性好(包括频率稳定性)、结构简单、使用方便、成本低、寿命长等优点，是应用最广泛的激光器之一。氙(Xe)激光器的工作气体是氙气，输出激光波长为3.507μm和2.026μm，用高频电激励时，峰值功率可达109瓦级。