主要用途： 用于地质、冶金、电子、建材、环境科学、半导体及材料科学等样品，可做固体样品的微区定性和定量分析，X射线线面扫描及背散射与二次电子图像等分析，包括： 1.元素定性和定量分析，可做矿物鉴定； 2.样品微区的表面形态，化学成份和微结构的分析； 3.状态分析，确定元素的赋存状态。

仪器类别： 03040703 /仪器仪表 /光学仪器 /电子光学及离子光学仪器

指标信息： 三道X射线波谱仪和一台能谱仪，常用分光晶体有LIF PET TAP等。 X射线射角40°，放大倍率50～70000，加速电压0～50kV. 二次电子图像分辨率70?，真空度：电子枪1×10-7乇，样品室1×10-8乇。 Sun工作站Unix系统多任务多窗口操作系统。新添PC2，PC3多层膜晶片，可以用其进行超轻元素B，C，N，O，F等元素的测定。同时在最近我们还将安装从CAMECA公司购买的阴极发光探头可以用以进行阴极发光成图