低散乱平行平面基板是一种精密抛光，面精度高表面粗糙度小的基板。它最适用于作为分光镜，窗口，或激光反射镜的基板使用。

它不仅可作为窗口材料，也可用作测量其他光学元件的基准平面。

用Ra(算术平均值)值表示表面糙度。算术平均值粗糙度是指与平均线的偏差的绝对值的平均值。