SiO
黑棕色至黄土色无定形粉末，白色立方晶体；熔点>1702°C，沸点1880°C，密度2.13克/立方厘米。溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸。不溶于水。在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太稳定，在空气中会氧化成二氧化硅；易溶于强碱溶液，生成硅酸盐并放出氢气。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反应）而成硅和二氧化硅。一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅。
CAS号：10097-28-6
一氧化硅可由二氧化硅在高温下与单质硅作用后迅速冷却制得：
固态一氧化硅可作绝缘材料。作为精细陶瓷原料具有重要价值。