这是MOSFET的一种工作状态（工作模式）。一般，MOSFET是在栅极电压大于阈值电压的情况下工作的，即是在出现表面沟道（反型层）的条件下来工作的，也就是利用沟道来导电的，这是所谓阈值工作状态。亚阈工作状态就是栅极电压低于阈值电压、不出现沟道的工作状态。

由于MOSFET在亚于状态下工作时，是没有沟道的，因此通过的电流必然很小。这个很小的电流称为亚阈电流，该亚阈电流实际上就是[源极区/衬底/漏极区]所构成的BJT的电流，因为其基区宽度很大，所以电流很小。但是这个很小的亚阈电流却能够通过栅极电压来加以很好控制（亚阈电流随着栅极电压的增大而指数式增加），这是由于亚阈电流主要是在表面附近流过，而栅极电压可以改变表面势的缘故。正因为如此，采用这种亚于状态来进行开关工作是很好的，因为这可大大降低功耗；这也就是为什么现在的VLSI几乎都是采用亚阈状态的MOSFET（包括CMOS在内）来工作的根本原因。

注意，亚阈电流不是像常规MOSFET的电流那样是多数载流子电流，而是少数载流子的扩散电流！