当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极间加上一定的电压，气体发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射称为消气剂溅射。
消气剂溅射放电回路，是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和一次电子向阳极运动形成的，放电过程是靠正离子撞击阴极产生二次电子，通过克鲁克斯暗区被加速，以补充一次电子的消耗来维持。因此，外部电路中测得的放电是轰击靶的正离子流和阴极发射的二次电子流之和。
(1)任何物质均可以溅射，尤其高熔点、低蒸汽压元素和化合物；
(2)溅射镀膜密度高，厚度均匀，无气孔，与基底结合牢固。
(1)溅射设备复杂，需要真空系统及高压装置；
(2)沉积速率低。