教授，博导

简历：1993年毕业于华中理工大学（现华中科技大学），获学士学位；1996年毕业于中科院上海硅酸盐研究所，获硕士学位；1999年毕业于复旦大学电子程系固体电子学与微电子学专业，获博士学位。2000.3-2001.3赴比利时根特大学固态科学系做博士后科研，进行新型硅化物接触材料研究、亚0.18um Cu互连技术的研究等。2001年6月进入复旦大学微电子学系工作，2001年11月晋升副教授, 2003年7月起担任信息学院院长助理，负责学院外事工作。2006年4月晋升教授。目前在研一项国家自然科学基金（原子层淀积铜互连超薄扩散阻挡层研究)、上海市科技启明星项目（原子层淀积铜互连超薄扩散阻挡层研究)、中国－比利时国际合作项目(先进半导体的接触材料的形成和性能研究)、863项目（新型纳米压印技术及开发）、国际教育培训项目(中国-德国合作)( 先进互连材料和概念研究)的子课题，是国家973项目子课题的学术骨干。一项留学回国人员启动基金、一项国家自然科学基金项目(金属诱导非晶Si-Ge-C薄膜低温横向结晶技术)和上海市科委纳米中心项目（自组织硅化物纳米线制备及表征）已经结题。曾在1998年国际集成电路和固态技术会议上获“最佳研究生论文奖”，曾获教育部科技进步三等奖，2002年入选复旦大学“世纪之星”计划，获得“教学和科研综合奖”，2002年获得复旦大学柯达奖教金，2003年入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”，2004年入选上海市科委“科技启明星”人才项目，2005年获得复旦大学复华奖教金，并评为“复旦大学优秀世纪之星”。至今已在SCI、EI期刊和ISTP上发表论文70多篇，编辑了“第六届国际集成电路和固态技术会议”论文集（第三编辑），作为第4届国际结技术研讨会出版委员会主席主编了“第四届国际结技术研讨会”论文集，2006年第六届国际结技术研讨会(上海召开)程序委员会共主席。组织了2004，2005，2006年复旦－诺发铜互连技术国际研讨会。IEEE高级会员, MRS学会会员,美国电化学学会杂志JES、欧洲Elsevier杂志、中国半导体学报、中国物理快报等杂志审稿人。

工作经历：

2000.3 – 2001. 3比利时根特大学固态科学系，博士后科研，进行新型硅化物接触材料研究、亚0.18um 铜互连技术的研究等。

2001.6 – 2001. 11 复旦大学微电子学系讲师

2001.11 – 2006.3 复旦大学微电子学系副教授

2006. 2 – 2006. 4 美国UCLA大学材料科学系访问学者

2006. 4 – 至今 复旦大学微电子学系教授，博士生导师。

2003. 9 – 2008. 7 复旦大学信息学院院长助理，主管外事。

2008. 8 - 至今 复旦大学信息学院党委副书记，主管人才引进和师资队伍建设。

教育经历：

1993年 学士，华中理工大学（现华中科技大学）固体电子学系

1996年 硕士，中科院上海硅酸盐研究所无机非金属专业

1999年 博士，复旦大学电子工程系微电子与固体电子学专业

研究兴趣：

1)亚45纳米铜互连工艺中新材料，新结构，新工艺研究，包括原子层淀积(Atomic Layer Deposition) 金属和氮化物研究、无籽晶铜互连、超薄扩散阻挡层等研究；

2)纳米压印技术(Nanoimprint)研究，利用Nanoimprint技术制备新型纳米结构及纳光学、纳电子学研究；

3)低温高迁移率薄膜晶体管研究，包括低温多晶硅、ZnO基薄膜晶体管制备与研究。

4)硅化物纳米结构研究。

奖励：

l 1998年国际集成电路和固态技术会议上获“最佳研究生论文奖”

l 1999年获教育部科技进步三等奖

l 2002年入选复旦大学“世纪之星”计划，获得“教学和科研综合奖”

l 2003年入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”。

l 2004年入选上海市科委“科技启明星”人才项目

l 2005年获得复旦大学复华奖教金，并评为“复旦大学优秀世纪之星”

l 2008年获得上海市科委“启明星跟踪”人才项目

l 2009年获得“上海高校优秀青年教师”荣誉称号

l 2009年获得“复旦大学2009年度优秀研究生导师”称号。

社会活动：

l IEEE高级会员，美国电化学学会会员

l 编辑了“第六届国际集成电路和固态技术会议”论文集（第三编辑），

l 第四届国际结技术研讨会出版委员会主席，主编了“第四届国际结技术研讨会”论文集

l 2006年第六届国际结技术研讨会程序委员会共主席

l 2008年第八届国际结技术研讨会组织委员会共主席

l 2010年第十届国际结技术研讨会组织委员会共主席

l 2004-2008年五届复旦－诺发铜互连技术国际研讨会主席。

l 美国电化学学会杂志JES、欧洲Elsevier杂志、IOP杂志(Nanotechnology等)、中国半导体学报、中国物理快报等杂志审稿人。