| 词条 | 超微加工技术 |
| 释义 | 超微加工技术 § 为了提高加工精细水平 由传统的接触掩膜光刻发展到投影光刻，并采用波长短的紫外光同步辐射或电子束作为光（辐射）源，用它们进行曝光可以获得更高的分辨能力。与超精细光刻技术配合的超微加工技术还有自对准技术、离子注入掺杂、激光淀积布线。今后的微细加工方向，将是对这些装置进行改良，开发分辨能力更高的抗蚀剂，以及采用能看到原子的扫描隧道显微镜ＳＴＭ和场离子显微镜ＦＩＭ等。 |
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