词条 | 卡罗酸 |
释义 | 也称过氧硫酸,过一硫酸 化学式:H2SO5(也可写成SO3·H2O2) 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸(H2SO5)。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。 |
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