定义

观察方法(1.表面化学腐蚀法 2.Plasma etching)

定义

HAZ: Heat affected zone

热影响区域

金属材料受到热影响导致金属原子间再结晶，形成新的晶粒，该部分区域称为HAZ。

观察方法

1.表面化学腐蚀法

先使用Wire Bonder制作烧成球的样本，然后在王水溶液中浸泡3~5秒，取出后充分清洗，然后在高倍电子显微镜下即能观察。

2.Plasma etching

一种使用等离子体击穿样本表面，清理晶粒之间的缝隙，使晶粒更加明显的方法。处理好后也同样在高倍电子显微镜下观察。