阴极荧光谱是利用电子束激发半导体样品，将价带电子激发到导带，之后由于导带能量高不稳定，被激发电子又重新跳回价带，并释放出能量≤Eg（能隙）的特征荧光谱

利用阴极荧光谱，可以在进行表面形貌分析的同时，研究半导体材料的发光特性，尤其适合于各种半导体量子肼、量子线、量子点等纳米结构的发光性能的研究。

利用阴极荧光谱可以作为扫描电子显微镜的一个附件。我们现有场发射扫描电子显微镜，应该配备一套阴极荧光探头，以充分扩展仪器功能。