词条 | 旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置 |
释义 | 一种材料加工设备,特别是涉及一种旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置。由底座、传感器、金刚石锯绳、气动张紧轮、工作滚轮、直流伺服电机、二维夹具机构组成,二维夹具机构由旋转机械手及步进电机组成,Y轴移动平台上连接有水平角度调整转台,水平角度调整转台上连接有垂直角度调整转台,步进电机联接在可调支撑板上,经过旋转轴与物料夹具相连。以旋转点接触切割方式替代过去已有的传统面接触切割方式,解决了对SiC超硬材的精密切割。 |
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