等离子体也可以在行波放电中产生，典型的就是表面波放电，电磁波会随着等离子体形成的通道传播。电磁波在传播过程中不断地加入电子来电离气体，从而确保电磁波在气体形成的等离子体中传播，因此，气体电离形成等离子体本身可以当作一个波导来约束等离子体的传播方向。与前面的微波放电有一个很大的不同，等离子体不需要全部包围在波导或耦合腔中，可以通过电磁波传播方向来控制电磁波的传播结构。19世纪80年代开始，科学家们就试图将行波放电应用到荧光灯中来，但由于功率密度和高频电子元件成本等问题阻碍了其发展速度。