对于高层错能金属及合金(如Fe、Al合金),晶粒细化通过位错的产生和运动形成位错墙。

退火时，会消除板材内部的残余应力和内应变，并推动位错的运动，在运动过程中使得一部分柏氏矢量方向相反的位错相遇并消失，或者一部分位错有序化形成位错网或位错墙；随着退火温度的升高，位错墙会互相连接合并形成亚晶界。