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词条 微接触印刷
释义

先通过光学或电子束光刻得到模板。压模材料的化学前体在模板中固化,聚合成型后从模板中脱离,便得到了进行微接触印刷所要求的压模。常用材料是PDMS。接着,PDMS压模与墨的垫片接触或浸在墨溶液中,墨通常采用含有硫醇的试剂。然后将浸过墨的压模压到镀金衬底上,衬底可以为玻璃、硅、聚合物等多种形式。另外,在衬底上可以先镀上一薄层钛层然后再镀金,以增加粘连。硫醇与金发生反应,形成自组装单分子层SAM。印刷后有两种工艺对其处理。一种是采用湿法刻蚀,另一种是在金膜上通过自组装单层的硫醇分子来链接某些有机分子,实现自组装,如可以用此方法加工生物传感器的表面。

微接触印刷不但具有快速、廉价的优点,而且它还不需要洁净间的苛刻条件,甚至不需要绝对平整的表面。微接触印刷还适合多种不同表面,具有操作方法灵活多变的特点。该方法缺点是在亚微米尺度,印刷时硫醇分子的扩散将影响对比度,并使印出的图形变宽。通过优化浸墨方式、浸墨时间,尤其是控制好压模上墨量及分布,可以使扩散效应下降。

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更新时间:2025/3/14 1:42:22