| 词条 | 微机电系统工程基础 |
| 释义 | 图书信息书 名: 微机电系统工程基础 作 者：王琪民 刘明侯 秦丰华 出版社： 中国科学技术大学出版社 出版时间： 2010年01月 ISBN: 9787312024689 开本： 16开 定价: 38.00 元 内容简介微机电系统是20世纪末兴起，并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大，相关研究也日趋深入。《微机电系统工程基础》主要介绍相关的工程基础知识。《微机电系统工程基础》共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。 《微机电系统工程基础》可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材，也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。 图书目录前言 第1章 微机电系统概述 第2章 微机电系统的制作(上) 第3章 微机电系统的制作(下) 第4章 常见的微型器件(上)——几种典型的微传感器及其工作原理 第5章 常见的微型器件(中)——几种典型的微执行器及其工作原理 第6章 常见微型器件(下)——几种典型的微结构和微系统 第7章 微检测技术 第8章 微机电系统相关的固体力学基础知识 第9章 微机电系统的设计和建模 第10章 微尺度流体力学的相关基础知识 第11章 微尺度传热基础知识 参考文献 …… |
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