| 词条 | 微电子机械系统教育部重点实验室 |
| 释义 | 实验室概况东南大学 1983 年开始集成传感器的研究，并于 1985 年在欧洲固态电子器件会议《 ESSDERC ￠85 ，Germany, p.88 》报道了集成 MOS 流量传感器的研究结果；1986 年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《 Applied Surface Science 30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987 年开始了微传感器 CAD 研究，并于 1988 年在《 Solid State Electronics，31(2)，237（1988）》报道了MOS磁电耦合的计算机模拟结果。由于国际上MEMS的出现，实验室于1989 年申请、1990年获准国家自然科学基金项目“微机械加工静电式微电机的研究”（批准号：80075220），并于1991年在《 Transducers'91,p.894，USA》上报道了基于气体润滑的微马达研究结果。九十年代，实验室MEMS研究得到了快速发展，出版了国内MEMS专著《硅微机械加工技术，科学出版社，1996年1月》、与美国DUKE 大学合作出版了国际上第一本键合技术专著《Semiconductor wafer bonding,John Wiley Sons,1998》。 MEMS是一门新兴的交叉学科，为适应这种发展和需求，东南大学以电子科学与工程学院的《微电子学与固体电子学》学科为主题、结合工程力学系和机械工程学院相关课题组，组建了跨学科的研究结构，于1999年申请建立教育部重点实验室。实验室2000年6月通过教育部可行性论证、2001年9月通过教育部验收、2002年11月通过教育部评估。 实验室聘请了一批国内知名专家组成了学术委员会；现有教授7人（其中博士生导师4人）、副教授9人，每年招收硕士生30名左右、博士生10名左右；实验室具有国际先进水平的设计研究基础设施，较好的加工和测试仪器设备；实验室同时又是国家 “211” 工程、 “985” 工程重点建设部门；目前承担了国家973项目、863项目、国家自然科学基金重点项目、总装备部、教育部、地方政府等重大 / 重点科技研究与开发项目。 学术委员会(椐教育部教技函[2009]14号文：任期2009.01—2012.12) 顾问： 丁衡高 院士 中国工程院
主任： 尤 政 教授 清华大学
委员： 王跃林 研究员 中科院上海微系统与信息技术研究所
机构设置管理机构 运行机构
何小元 RF MEMS 研究室 孙立涛 MEMS 封装与可靠性研究室 NEMS 研究室 微纳结构动态测试研究室 微纳转热及相关器件研究室 专家学者黄庆安，男，1963年1月出生，教授，博士生导师，近年来主要从事MEMS研究，在MEMS CAD、CMOS MEMS和新兴MEMS器件研究。 1991年获东南大学博士学位，现担任东南大学“微电子学与固体电子学”学科教授、博士生导师，电子工程系副主任、MEMS教育部重点实验室主任。江苏省跨世纪人才基金和教育部优秀年轻教师基金获得者。1995年任IEEE 高级会员、IEEE Electron Device Chapter 秘书、国际著名期刊《J.Appl.Phys.》和《Appl.Phys.Lett》特约审稿人，2001年担任SPIE－OM02国际会议主席，曾任第六届全国敏感元件与传感器学术会议程序委员会委员、第四届全国微米/纳米技术学术会议程序委员会委员、首届中国电子学会纳米技术与应用学术会议程序委员会委员等。担任十五“863”MEMS重大专项预启动项目评审组长，曾获教育部跨世纪优秀人才培养计划基金、江苏省高校优秀青年骨干教师、江苏省高校科研先进个人、国务院政府特殊津贴等荣誉。 在MEMS CAD、CMOS MEMS和新兴MEMS器件研究方面完成科研项目13项，获中国发明专利2项，发表SCI论文20余篇，论文被国内外同行引用60余篇（次），在国内首次编著了《硅微机械加工技术》（科学出版社,1996）。该书成为北京大学、哈尔滨工业大学等一些著名高校的研究生教材，有广泛影响。 孙立涛：1976年出生，2005年3月在中国科学院上海应用物理研究所获博士学位，2005年3月至2008年3月于德国美茵兹大学（University of Mainz）物理化学所做Research fellow。 2008年3月加入东南大学MEMS教育部重点实验室，被聘为特聘教授、博士生导师。现为MEMS教育部重点实验室副主任，东南大学-FEI纳皮米示范中心负责人。 廖小平，男，1966年1月生，现为东南大学MEMS教育部重点实验室教授。1987年毕业于东南大学无线电技术专业，硕士研究生毕业后留校任教；后在职攻读博士学位，于1998年获得东南大学微电子学与固体电子学博士学位，博士论文是关于 AlGaAs/GaAsHBT及其MMIC理论与实验研究；2002年在香港科技大学做博士后研究，从事SOIRF/微波功率MOSFET研究。长期从事 MMIC和RF MEMS教学与科研工作。近五年获得国家发明专利4项，已受理国家发明专利8项，在国内外发表论文20余篇。 秦明，男，1967年10月出生，教授，博士生导师，研究方向：MEMS传感器与微系统、MEMS材料与加工工艺等。 1994年和1997年在东南大学分别获得硕士、博士学位；研究方向为硅半导体场致发射理论与实验研究；1998年4月-1999年10月在香港科技大学电子与电机工程系开展博士后研究工作。研究课题为金属诱导非晶硅横向晶化技术。1999年10月后回校工作，目前从事CMOS MEMS传感器与微系统的研究。2004年晋升教授。2004年获选“教育部新世纪优秀人才”，2005年列入江苏省青蓝工程学术带头人培养计划。目前是中国微米纳米学会高级会员、中国仪器仪表学会传感器分会常务理事，中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术委员会委员、江苏省电子学会集成电路分会和传感技术分会秘书长。 完成国家级科研项目5 项，在Journal of Microelectromechanical Systems，Journal of the Electrochemical Society，Sensors and Actuators; Thin Solid Films等国内外期刊发表论文40余篇；论文被国内外同行引用40余次，获中国发明专利6项。 |
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